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高純氦氣根據(jù)GB/T 4844-2011具體指標(biāo)

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氖氣(Ne)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <4
 
氫氣(H2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <1
 
(氧氣(O2)+氬(Ar))含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <1
 
氮?dú)猓∟2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <2
 
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <0.5
 
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <0.5
 
甲烷(CH4)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <0.5
 
水分(H2O)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <3
 
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